
Тот баспайтын түтіктерді жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде қолдану Тот баспайтын түтіктер, әсіресе жоғары тазалығы бар жіксіз баспайтын болаттан жасалған түтіктер (316L, 316L EP, BA) жартылай өткізгіштерді шығаратын зауыттарда (Fab) таптырмас негізгі материал болып табылады.
Тот баспайтын болаттан жасалған түтіктерді жартылай өткізгіш өнеркәсібінде қолдану
Тот баспайтын болаттан жасалған түтіктер, әсіресе жоғары таза жіксіз тот баспайтын болаттан жасалған түтіктер (316L, 316L EP, BA) жартылай өткізгіштерді өндіру зауыттарында (Fabs) таптырмас негізгі материал болып табылады, негізінен аса таза газдарды, химиялық заттарды және аса таза суды тасымалдау міндеттерін орындайды.
Жартылай өткізгіш микросхемалардың өндірісі ластануға өте сезімтал:
1. Бөлшектердің ластануы
2. Металлдың ластануы
3. Ылғалды ластану
4.Органикалық заттармен ластану (TOC)
Тіпті нанометрлік деңгейдегі қоспалар бүкіл пластинаның істен шығуына әкелуі мүмкін.
Сондықтан көлік жүйесінде мыналар болуы керек:
1. Өте жоғары тазалық
2.Қоспалардың өте төмен эмиссиясы
3. Коррозияға төзімділік
4. Бөлшектердің түзілуі жоқ
5. Ұзақ мерзімді тұрақты жұмысқа қабілеттілік
Электрлік жылтыратылған (EP) 316L баспайтын болаттан жасалған түтіктер енді негізгі шешім болып табылады.
Қолданбаның негізгі сценарийлері:
1.Арнайы газбен жабдықтау жүйелері
2. Өте таза су жүйелері
3. Химиялық жабдықтау жүйелері
4.Вакуумдық жүйелер
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде кеңінен қолданылатын тот баспайтын құбырлар стандарттары
| Аты | Стандартты |
| Материал | 316л |
| Стандартты | ASTM A269 |
| Ультра жоғары тазалық стандарты | SEMI F20 |
| Беттік өңдеу | Б.А., Е.П. |
| Кедір-бұдыр | Ra ≤ 0,25 мкм |
| Дәнекерлеу әдісі | Орбитальды дәнекерлеу |
| Тазалық сабағы | Сынып 100 / ISO 5 |